半導體臭氧設備
品牌:IN-USA 型號:gFFOZ 整機販售、維修、校正、保養

 

簡述:

gFFOZ 臭氧感測器
品牌:IN-USA

 

特色:

  • 專為高濃度氣相臭氧量測設計,可直接安裝於製程管線中

  • 採用專利中的雙光學路徑紫外線吸收技術,量測穩定、準確

  • 具備壓力與溫度自動補償功能,確保數據可靠性

  • 支援即時連續監測,適用於高純製程與半導體應用

  • 校正資料儲存在感測器內部,更換方便無需重新設定

  • 結構緊湊,耐高臭氧腐蝕

 

規格:

測量範圍:0–400 g/m³(或 0–26% w/w)

精度:±1 g/m³ 或 ±1%

流量範圍:0.2–15 SLPM

操作壓力:40 psia(最高耐壓 80 psia)

尺寸:130 × 146 × 54 mm(W×H×D)