半導體臭氧設備
品牌:IN-USA 型號:gFFOZ 整機販售、維修、校正、保養

gFFOZ 臭氧感測器

品牌   IN-USA

 

特色

• 專為高濃度氣相臭氧量測設計,可直接安裝於製程管線中

• 採用專利中的雙光學路徑紫外線吸收技術,量測穩定、準確

• 具備壓力與溫度自動補償功能,確保數據可靠性

• 支援即時連續監測,適用於高純製程與半導體應用

• 校正資料儲存在感測器內部,更換方便無需重新設定

• 結構緊湊,耐高臭氧腐蝕

 

規格

測量範圍  :  0–400 g/m³( 或 0–26% w/w )
精度            :  ±1 g/m³ 或 ±1%
流量範圍  :  0.2–15 SLPM
操作壓力  :  40 psia( 最高耐壓 80 psia )
尺寸            :  130 × 146 × 54 mm( W×H×D )